KLA 기업 분석

기업 소개

· Keep Looking Ahead의 약자이다.

· 미국 캘리포니아주에 본사를 두고 있는 KLA는 반도체 및 관련 마이크로 일렉트로닉스 분야를 위한 공정관리 및 수율관리 솔루션을 제공하는 선도적인 기업

· 계측 장비에 대한 서비스와 판매를 진행함

 

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계측 분야

Chip Manufacturing

· 고급 로직 및 메모리(3D NAND, DRAM, MRAM 등), 전력 장치, RF 통신 장치, LED, 포토닉스, MEMS

· 실리콘 및 화합물 반도체 장치 기술 모두에 대해 칩 제조 공정 전반에 걸쳐 사용되는 결함 검사, 결함 검토, 계측, 현장 공정 모니터링, 화학 공정 제어, 소프트웨어 솔루션, 식각 및 증착 공정 솔루션제공

Wafer Manufacturing

· 제조업체가 웨이퍼 제조 공정 전반에 걸쳐 품질을 관리하는 데 도움이 되는 결함 검사 및 검토, 계측 및 데이터 관리 시스템

· KLA의 웨이퍼 제조 시스템은 실리콘, 프라임 실리콘, SOI, 사파이어, 유리, GaAs, SiC, GaN, InP, GaSb, Ge, LiTaO3, LiNBO3 및 에피택셜웨이퍼를 포함한 광범위한 기판 유형 및 크기의 공정 개발, 생산 모니터링 및 최종 품질 검사를 지원

 

Reticle Manufacturing

· 레티클검사, 계측 및 데이터 분석 시스템은블랭크, 레티클및 IC 제조업체가 레티클결함과 패턴 배치 오류를 식별하여 수율위험을 줄이는 데 도움

 

Packaging Manufacturing

· 패키징 검사, 계측, 다이 분류, 화학 프로세스 제어, 현장 프로세스 관리 및 데이터 분석을 통해 품질 표준을 충족하고 생산 전 수율을 높이는 데 중점

PCB 및 IC 기판 제조

· 인쇄 회로 기판(PCB) 및 집적 회로 기판(ICS) 제조

· 제조업체는 패터닝및 솔더마스크, 자동 광학 검사(AOI), 자동 광학 성형(AOS), UV 레이저 드릴링, 잉크젯 및 첨가제 인쇄, 화학 공정 제어를 위한 KLA의 포괄적인 직접 이미징 포트폴리오를 사용하여 제조 공정 전반에 걸쳐 수율과 신뢰성을 관리할 수 있습니다.

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KLA의 최신 특허 (금속화 용액의 붕산 분석 및 공정 제어 방법)

· 처리 용액(processing solution) 중의 붕산 농도를 선택적으로 측정하고 모니터링하기 위한 기술이 제공된다.

· 방법은 가수분해된 이온과 반응하는 착화제(complexing agent), 예를 들어, 에틸렌디아민테트라아세트(EDTA) 산염을전위차 적정에 사용하는 것을 포함한다.

· 이와 같은 방법으로, 처리 용액 중의 붕산 농도가 정확하게 측정되고 모니터링될 수 있다.

적정 비교

· 가수분해된 이온(예를 들어, Fe)이 존재한다면, 복합제의 존재 시에만 피크가 검출가능하다. 그림은 경사도 대 적정제첨가 용적(mL)에 있어서의 붕산 농도의 결과를 제공한다.