기업 소개
제품 실적
- 반도체 장비의 매출 비율이 75.7%로 매출의 대부분을 담당한다.
반도체 장비
- CMP : Wafer를 화학적 반응과 기계적 힘을 이용하여 평탄하게 연마
- Wet Cleaning System : Wafer상의 불순물 제거
디스플레이 장비
- Wet Station : LCD, LTPS, OLED, Flexible 등 Display 제조에서 액체를 이용하여 Cleaning, Etching, Stripping, Developing 등의 공정을 통해 패턴을 형성하고 최종 결과물을 만드는 장비의 통칭
- APP : 기판 표면의 유기물을 제거하고 활성화하여 Wet 공정의 효율을 증가시키거나 접착성을 향상시키는 건식 Module
- CO2 Cleaner : 저온의 드라이아이스 스노우 입자를 노즐을 통해 고속으로 분사하여 기판 표면의 오염물을 건식으로 제거, 세정이 가능한 친환경적인 세정 Module
- Coater : LCD, LTPS, OLED, Flexible Display 제조라인에서 기판에 PR 및 Coating Material을 균일하게 도포하는 장비
소재
- Ceria Slurry : 반도체 CMP공정에 사용되어 80nm~300nm입자와 초순수 및 Chemical이 혼합되어 만들어진 현탁액으로 연마대상의 막질을 화학적, 기계적으로 연마하는 역할
- Silica Slurry : CMP공정 중 Metal Contact / Plug & Poly 공정에 사용되는 Slurry 로서, Colloidal Silica와 기능성 Chemical을 DIW에 혼합하여 사용하는 현탁액
- Zirconia : 광학분야에 사용되며 디스플레이의 휘도, 굴절률 등 광특성 향상을 위해 광학필름과 고굴절 렌즈에 응용
- Hollow Silica : 저굴절, 저유전, 단열 특성을 바탕으로 Anti Glare, Low Reflection, Anti Reflection, FPCB기판, 단열필름 등에 응용
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