기업소개
원익IPS는 경기도 평택에 위치하고 있는 대한민국의 기업으로 반도체, Display 및 Solar Cell 제조용 핵심 장비를 생산ㆍ판매하고 있는 기업이다.
주요 사업 내용
1. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 미세공정용 제조장비의 생산, Retrofit 및 판매, 수출입업
2. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 미세공정용 장비 및 장비 생산에 소요되는 부품의 판매, 수출입업
3. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 미세공정용 장비의 판매에 수반되는 사후관리 및 용역제공 관련 사업
4. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 미세공정용 제조장비와 관련된 연구개발 용역사업
5. 부동산 임대업
6. 정보통신공사업
7. 기계설비공사업
8. 소프트웨어 개발 및 서비스업
9. 위 각 호의 사업에 직접적 또는 간접적으로 관련되거나 부대되는 일체의 사업
주요 제품
| 장비 | 비고 |
| 반도체 제조용 장비 | PECVD, ALD, Diffusion Thermal System 등 |
| Display 제조용 장비 | Dry Etcher, PECVD, LTPS Furnace, PI Curing 등 |
| Solar Cell 제조용 장비 | RIE Etcher 등 |
매출정보
연구개발
1. 1x, 2x급 반도체용 저온 무기물 증착을 위한 PEALD(플라즈마 원자층 증착기술) 장비 핵심기술 개발
(2016년 2분기 완료)
2. AMOLED 용 8세대급 고주파 유도결합 플라즈마 건식식각 장비와 저 GWP 가스적용 SiO2/Al2O3 식각 공정 개발
(2017년 2분기 완료)
3. 저가형 다결정 실리콘 웨이퍼용 건식 텍스처링 공정, 장비 기술 개발
(2019년 3분기 완료)
4. 3D-1xnm급 반도체 공정용 내플라즈마성 10^10, 10^16, 10^3 ohm-cm급 세라믹 복합소재, 온도 제어 기능성 부품 개발
(2020년 2분기 완료)
5. High/metal gate 공정용 박막 내 carbon/hologen-free precursor 및 공정부품 개발
(2021년 4분기 완료)
6. OLED 공정 용 90kW 지능형 RFS(RF Power System) 개발
(2021년 4분기 완료)
7. 디스플레이 공정에서 플라즈마 밀도 및 전자 온도 분석을 위한 플라즈마 센서 모듈 개발
(2021년 4분기 완료)
8. 반도체 공정용 7축 웨이퍼 이동 장치 및 상용화 기술 개발
(2022년 4분기 완료)
9. 반도체 공정용 드라이 펌프 계열 진공펌프 및 상용화 기술 개발
(2023년 진행중)
10. IT 디스플레이의 LTPO용 절연막 증착을 위한 고밀도 플라즈마 CVD 증착 시스템 및 공정기술 개발
(2023년 진행중)
연구개발 동향을 보아 원익IPS가 박막공정(증착기술)에 많은 연구를 하고 있는 것을 예상할 수 있다.
제품 소개
Semiconductor
반도체 제조공정 중 기판 위에 회로를 만드는 공정 장비를 개발하고 있으며 박막형성을 위한 증착 장비를 주로 공급 하고 있습니다. 2014년에는 수요가 높아지고 있는 3D NAND Flash 분야의 핵심 생산 장비인 Mold 공정 설비를 양산화에 성공하였고, 2018년에는 10나노 공정의 DRAM High-K 시장 진입에 성공하였습니다.
Display
원익아이피에스는 Back plane 공정의 Dry Etcher 뿐만 아니라 Flexible 및 Foldable 디스플레이 패널 제조에 필수 공정인 박막봉지 설비를 개발하여 공급하고 있습니다.
Solarcell
대체에너지 및 청정에너지로 각광받고 있는 태양전지는 반도체기술을 바탕으로 하는 벌크형 결정질 태양전지와 디스플레이 기술을 바탕으로 하는 박막형 태양전지로 양분할 수 있습니다.
원익아이피에스는 반도체와 디스플레이 장비에서 얻은 기술과 노하우를 바탕으로 차세대 CIGS 박막 태양전지 장비를 공급하고 있습니다.
기업의 시작
처음으로 발표한 특허
가장 최근에 발표한 특허
원익IPS는 가장 처음에 가스보일러와 관련된 산업으로 시작한 것으로 보인다. 하지만 최근 특허를 보면 반도체 공정 과정 중 박막증착 과정에 관련된 연구를 진행하는 것으로 보이며 실제로 박막증착과 관련된 장비를 제조 및 판매한다.
WONIK IPS
WONIK IPS
www.ips.co.kr
https://dart.fss.or.kr/dsaf001/main.do?rcpNo=20230814002136
원익IPS/반기보고서/2023.08.14
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dart.fss.or.kr
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